Mikroelektronika próżniowa

Trudno nazwać mikroelektronikę próżniową nową dziedzną elektroniki. U jej podstaw nie znajdziemy żadnego nowego odkrycia, żadnej nagrody Nobla. Nie wykorzystuje w nowatorski sposób żadnego, leżącego dotychczas odłogiem, zjawiska fizycznego. Jest jednak pewna szczególna cecha, która w sposób dotychczas nie spotykany występuje w mikroelektronice próżniowej.

Cechą tą jest duża różnorodność ściśle ze sobą splecionych składników. Mechanika kwantowa, dynamika cząstek naładowanych, chemia, fizyka półprzewodników, inżynieria powierzchni, wszystkie te dziedziny składają się na całość, którą nazwano mikroelektroniką próżniową. Jest to owoc dwóch, na pierwszy rzut oka konkurencyjnych dziedzin elektroniki - przyrządów próżniowych i mikroelektroniki półprzewodnikowej.

To właśnie techniki wytwórcze, opracowane na potrzeby półprzewodników, okazały się znakomitym środkiem pobudzającym rozwój przyrządów próżniowych.

Wyczerpanie możliwości dalszego znaczącego postępu, najpierw w elektronice próżniowej, następnie również w półprzewodnikach, oraz nowe wymagania użytkowników spowodowały stopniowy wzrost zainteresowania mikroelektroniką próżniową.

---

Spis treści

Przedmowa
Wykaz oznaczeń
1.Wstęp
2.Podstawy fizyczne emisji elektronów
3.Emisja polowa
4.Inne rodzaje emisji
5.Emitery polowe
6.Warunki pracy emiterów polowych
7.Szumy emiterów polowych
8.Ekrany wizyjne
9.Lampy mikrofalowe
10.Czujniki z emisją polową
Podsumowanie.
Literatura.
Skorowidz.